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发布日期:2025-01-12 01:07    点击次数:114
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  光刻胶是光刻的中枢材料,时间壁垒高,其中利用于集成电路的光刻胶是我国半导体产业中枢的“卡脖子”材料,光刻胶主要由成膜树脂、增感剂、活性单体、溶剂和助剂构成,搭配显影液、剥离液等配套试剂使用。与光刻胶自身雷同,其原辅料亦较依赖入口。

  单体:用于树脂团员,合成难度大、纯度及金属离子条目高,产业化贫窭,依赖入口。【徐州博康】(华懋科技参股)单体时间储备充分,家具外售至日韩;【万润股份】具备相关家具。

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  树脂:是最迫切的构成部分,以ArF光刻胶为例,其树脂质料占比仅5-10%,但资本占光刻胶原材料总资本的97%以上。国内企业如【圣泉集团】、【徐州博康】、【彤程新材】、【万润股份】均有布局。

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  溶剂:含量占比最高,ArF光刻胶中约达94.4%,合座原土化供应进度高,PMA(丙二醇甲醚醋酸酯)份额遥遥罕见,国内上市公司【百川股份】、【怡达股份】均有布局。

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  光敏材料:是构成身分中“对光敏锐”的化合物,曝光下剖释,产生质子酸催化树脂分子链发生脱保护反映,从而编削曝光区域的熔解性,国产化率低,【强力新材】、【久日新材】等有所布局。

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  配套试剂:主要为显影液和剥离液。显影液主要用于光刻胶熔解,正胶一般使用TMAH看成显影液,【格林达】有所布局。剥离液用于去除光刻胶及残留物志,【江化微】、【晶瑞电材】等宽绰企业布局。

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